ET-220晶圆烘焙烤胶热板专为研发、实验室和小规模生产而设计的专用解决方案,深圳市邦企创源科技的手动热板ET-220是专门为满足研发工作和小规模生产的要求而开发的。220毫米的热板提供均匀的温度分布和具有高重复精度的加热斜率，以确保恒定和稳定的工艺结果。热板是一款桌面型半自动烘焙系统，用于晶圆的单面烘烤，可用于预烘烤(Pre-bake)，前烘(soft bake)，底胶涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake坚膜)工艺。

　　烤胶热板产品特点：

　　1.最大200mm直径的圆形基板或6"边长的方形基板(可订制12"wafer)

　　2.均匀的温度分布

　　3.加热快

　　4.热板表面的高性能保护涂层

　　5.易于使用的图案化触摸屏界面

　　6.升温速率可编程(通过专用的触摸面板控制器)

　　7.真空烤胶：减少光刻胶有机组合空洞,提高产品的电气特性和结合性能‌,真空环境还能减少产品和胶的氧化风险，进一步提升烤胶质量‌.

　　8.多工位设计同时加热多片wafer，片子通过PIN升降达到所有wafer加热时间相同，克服因人工夹放wafer造成的工艺不稳定问题

　　为了实现最佳的温度分布，热盘产品相关的设计中对产品热传导;热对流;热辐射;热应力分析,按照工艺证明的模式排列在加热板内。这就避免了热点或冷点，确保了均匀的温度分布。热板有专门的涂层，以提高机械和化学耐受性，并易于清洁。

　　该工具有三种不同的外壳(台式、桌面和分体式)，可以通过专用的触摸屏控制器方便地控制。如果与外套和开发平台匀胶机器相结合，ET-220可以选择使用与QC-8相同的触摸屏电脑进行控制。台式和台式安装版本在尺寸和外观上也很适合QICEQUIP LabSpin系列。

　　不仅外形和控制的可能性提供了高度的灵活性，而且各种可用的选项，如升降针、真空吸附、接近烘烤、氮气吹扫和真空烘烤，都能完美地适应实验室的日常需要。

　　热板的标准配置是升降销，这允许方便和安全地处理基质。近距离选项允许通过10微米来设置基质和热板表面之间的距离，因此，提供了广泛的处理选项能力。氮气吹扫选项的流速可以手动调整，并由数字显示屏显示。氮气吹扫和基质真空抽吸可以在配方编辑器中为每个步骤单独选择。真空烘烤，真空度数字显示,减少胶体有机组合空洞,提高产品的电气特性和结合性能‌,真空环境还能减少产品和胶的氧化风险，进一步提升烤胶质量‌.封闭的双壁盖子，确保了稳定的工艺条件，并防止操作者意外触及热表面。

　　晶圆匀胶机冷热板介绍

　　匀胶机中的两大主角，一个热情热板(hot plate)，一个冷漠如秋霜冷板(chill),热板顾名思义就是热乎乎的板子，主要是给晶圆加热，以除去光刻胶中的溶剂，让光刻胶更坚挺，不同种类的光刻胶设定的温度是不同的，一般在90~120℃之间，而冷板主要任务是冷却过热的浸染，让光刻胶迅速冷静下来，以便于下一工序的顺利进行，冷板表面温度与室温相同或略低.