12片4寸wafer多工位烤胶机，本设备可以同时加热30片2″wafer(或选择12片4″寸wafer)，片子通过PIN升降达到所有wafer加热时间相同，克服因人工夹放wafer造成的工艺不稳定问题。触控多段顶针匀胶机，300℃触摸屏控制，曲线20段可编程控温，室温~300℃，加热平台采用航空铝合金材质，顶盖采用力矩折页，带升降顶针定时功能。　ET-450烤胶机是一款高效、智能化的触控多段顶针匀胶机，具备多项先进特点，适用于多种胶粘工艺。

　　其触摸屏控制操作简便直观，加热平台采用高强度7075铝合金，表面防腐氧化处理，确保优良的热传导性能。多工位烤胶机器的顶盖一体铝合金设计，内盖镜面不锈钢隔热，2个氮气支撑弹簧提升操作灵活性。不锈钢盖板保证耐用性和易清洁。设备可设置最多10组配方，每组配方可分为32段，支持最长9999分钟的定时控制，并具备曲线记录功能，便于追踪工艺数据。此外，设备设有断偶报警和超温偏差报警功能，确保操作安全与稳定。整体设计紧凑，外形尺寸为380x300x高230mm，适合各种实验室或生产环境

　　 一，自动烤胶机产品技术参数：

　　1、 设备名称与型号：自动温控烤胶机ET-5143

　　2、 设备外观图：(见图)

　　3、 设备概要：本设备可以同时加热30片2″wafer，片子通过PIN升降达到所有wafer加热时间相同，克服因人工夹放wafer造成的工艺不稳定问题。

　　4、 设备规格：

　　1) 基板尺寸：2″wafer;

　　2) Through Put：30片/run;

　　3) 温度范围：20~150℃(Plate表面);

　　4) HP材质：AL+SALW(阳极处理)+Silastic Heater;

　　5) 加热面尺寸：(W×D×H) 510×430×12(mm);

　　6) 温度分布：90℃ ±1℃;120℃±1℃;

　　7) 温度Sensor：PT100型热电偶;

　　8) 温度表示：温度调整器Digital表示;

　　9) 控制方式：Digital温度调整器+SSR(PID);

　　10) 设备外面尺寸：(W×D×H) 566×486×170(mm);

　　11) 设备净重：30Kg;

　　二、 烘烤设备运作流程：

　　(1).查看设备外观无运输破损后，将电源线插入~220V接线板插坐;插上供气管

　　(2).打开电源开关，设备自检初始化，顶针(PIN)顶起

　　(3).设置加热温度;设置工作时间

　　(4).放上待加热晶片

　　(5).按开始键，顶针下落，晶片落下，贴紧加热板，开始加热，时间继电器开始计时

　　(6).时间到，顶针(PIN)同时顶起晶片，所有晶片同时离开热板不再加热，蜂鸣器响起提醒工作人员取下加热均匀的晶片。

　　(7).工作过程中，遇突发事件，可按停止按健，顶针立即顶起晶片，停止加热，时间继电器复位，方便随时进行人工干预。

　　三、 按装厂务要求：

项次	项目	內容	容量	备注
1	电源	AC 220V	15A 50Hz
2	CDA	>6Kg	稳压1.5Kg
3	供气管	φ8mm	3Kg~10Kg

　四、 多工位烤胶产品优势：

　　a) 30片/run，产能优势;

　　b) Silastic Heater温度均匀性更高。

　　烤胶机采用桌面加热板技术,广泛用于晶圆光刻胶真空烘焙和晶圆烘胶。精密数字温度控制器可实现1°C至230°C的温度可调,适用于软烘焙和硬烘焙工艺，以及光刻胶固化、环氧树脂固化或任何其他需要精确温度控制的工作的固化。

　　高精度智能程控匀胶机、烤胶机，内置电脑控制Windows操作界面，USB接口及打印网线外部接口，程序控制镀膜过程和温度过程，图形及时显示旋涂速度。广泛应用于能源、微电子、生物材料、光学等领域，欢迎新老顾客选购!