高温型烤胶机(热板)面板采用不锈钢310S渗氮，耐高温不变色设备;采用分层结构，有效隔热，保护电器元件;四周装有防烫护栏，降低事故发生率;盖子带可视窗，实验过程实时监测适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。热板温度稳定度高，重复性好。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。

　　高温烤胶机产品原理：

　　烤胶机整个面板温度均匀，对基片膜层固化效果非常好。由于固化是从下往上，所以不会产生皮肤效应。这种“由里而外”的固化方式尤其适合较厚的膜层，因为较靠近基片的膜层会固化好，然后是膜层靠外的部分。该机由于升温，所以产量较高。烘烤时间用秒计算，而不是像传统烘箱用分钟或者小时计算。

　　该机主要有机箱、加热部件和电控系统组成。机箱由箱体、罩壳和箱盖组成。加热的部件由加热板、加热元件及保温层、隔热层组成。电控系统由控温仪、继电器、热电偶、开关、指示灯、风扇、插座等组成。控温仪、电源开关、指示灯在面板上。风扇在箱体的后壁上，其它电器元件在箱体的内底板上。

　　电子烤胶机用于晶圆表面涂上胶层后，为了实现胶层的快速干燥，一般会采用烤胶机对晶圆进行烘烤。现有的烤胶机都是封闭式的，即加热面板位于一封闭的加热腔中，使用时，打开加热腔，将晶圆水平放在加热面板上，通过电加热的方式对晶圆进行加热，促使胶层快速干燥固化。

　　这种烤胶机由于加热腔封闭，能够提高热利用率，能耗相对较低，但每次只能够烘烤特定数量的晶圆，且需要人工开启加热腔、放入晶圆、打开加热腔、取出晶圆，效率较低，不利于实现规模化、连续化生产。

　　烤胶机，包括底座，所述底座上固定设置有电机和保温壳，所述电机竖直设置，且电机的主轴连接有水平的转盘，所述转盘上设置有多个晶圆定位槽，多个晶圆定位槽绕转盘的中心呈圆周状均匀分布;

　　所述保温壳的内腔由竖直的隔板分隔成为预热腔、加热腔以及预冷腔，所述加热腔内设置有加热组件;所述转盘部分位于保温壳内，部分位于保温壳外，且预热腔、加热腔以及预冷腔中均有一晶圆定位槽。

　　高温型烤胶机特点：

　　1、面板采用不锈钢310S渗氮，设备耐高温不变色。

　　2、外观简约大气，适配各种类型实验室实验操作。

　　3、配载高精度数显温控表控制。

　　4、外型小巧，方便放入手套箱。

　　5、设备采用分层结构，有效隔热，能够极大程度保护电器元件。

　　6、设备四周装有防烫护栏，有效降低事故发生率。

　　7、设备盖子带可视窗，实验过程实时监测。

　　高温型烤胶机产品参数：

　　产品：高温型Hot Plate

　　参数：ET-100-HT

　　面板有效尺寸 (inch)：8时

　　温度范围℃：室温〜600

　　温度分辨率℃ ：0.1

　　控温精度(℃) ：±0.5

　　温度均匀性(%)：±4

　　恒温计时 ：无

　　线性控温：无

　　真空吸附功能 ：无

　　顶针功能 ：无

　　恒温程控顶升：无

　　程控线性控温：无

　　温度偏整报警 ：无

　　人机界面：段码数显

　　面板材料：陶瓷面

　　外壳材料：镀膜不锈钢

　　功率(W) ：2500

　　嵌入式设计：无

　　外形尺寸(mm)：245*347*352

　　可以订制：科研教学型 ，高端程控型，可扩展抽风、 真空、吹氨气或HMDS功能，高温型

　　面板采用不锈钢310S渗氮，设备耐高温不变色。外观简约大气，适配各种类型实验室实验操作。配载高精度数显温控表控制。外型小巧，方便放入手套箱。设备采用分层结构，有效隔热，能够极大程度保护电器元件。设备四周装有防烫护栏，有效降低事故发生率。设备盖子带可视窗，实验过程实时监测。

　　如何正确操作烤胶机?

　　 烤胶机的整个面板温度均匀，对基片膜层固化效果好，具有烘烤时间短、重复性高等特点。可应用在电子、化工等行业的工矿企业、科研、教育等单位，进行热老化、温度试验及干燥、烘焙、消毒和热处理等试验用。烤胶机的操作步骤：

　　1、接通电源，打开开关;

　　2、通过控温仪的上下箭头设置所需烘烤温度;

　　3、加热板温度到设置温度后，可以进入烘烤工作;

　　4、将烘烤元件或要加热的东西放在加热板上(烘烤时间由操作者控制掌握)。

　 烤胶机包含真空腔体和温控装置两部分，采用新颖的数字式加热设计，可以准确的控制表面温度;坚固耐腐蚀的铝合金面板，优异的导热性可以满足多种应用场景;数字式显示器可迅速编码准确控制温度;独立的防过热电路设计，确保实验安全。