电子烤胶机用于晶圆表面涂上胶层后，为了实现胶层的快速干燥，一般会采用烤胶机对晶圆进行烘烤。现有的烤胶机都是封闭式的，即加热面板位于一封闭的加热腔中，使用时，打开加热腔，将晶圆水平放在加热面板上，通过电加热的方式对晶圆进行加热，促使胶层快速干燥固化。

　　这种烤胶机由于加热腔封闭，能够提高热利用率，能耗相对较低，但每次只能够烘烤特定数量的晶圆，且需要人工开启加热腔、放入晶圆、打开加热腔、取出晶圆，效率较低，不利于实现规模化、连续化生产。

　　烤胶机，包括底座，所述底座上固定设置有电机和保温壳，所述电机竖直设置，且电机的主轴连接有水平的转盘，所述转盘上设置有多个晶圆定位槽，多个晶圆定位槽绕转盘的中心呈圆周状均匀分布;

　　所述保温壳的内腔由竖直的隔板分隔成为预热腔、加热腔以及预冷腔，所述加热腔内设置有加热组件;所述转盘部分位于保温壳内，部分位于保温壳外，且预热腔、加热腔以及预冷腔中均有一晶圆定位槽。

　　 电子烤胶产品主要特点：

　　1、稳定性能非常好，温度稳定度可达±0.5℃。

　　2、温度调节范围宽：室温-500℃

　　2、采用闭环控制，升温速度快。

　　3、具有定时功能。同时带倒计时显示功能。

　　4、采用数字按键控制温度与时间，温度与时间设定更加精确。

　　5、机身全部采用不锈钢，耐酸耐碱耐腐蚀。

　　6、针对客户基片尺寸大小，提供加热板定制服务。

　　烤胶机性能指标：

　　1、温度范围：室温-300℃，温控连续可调。

　　2、温度均匀性：±3%(最高温度时，工作台板上各处温度均匀性)

　　3、电源电压：单相110-240V供电

　　4、加热板尺寸：200X200mm

　　5、仪器尺寸：210×220×160mm

　　6、重量：6.5K

　　烤胶机的操作步骤

　　烤胶机整个面板温度均匀，对基片膜层固化效果非常好。由于固化是从下往上，所以不会产生皮肤效应。这种“由里而外”的固化方式尤其适合较厚的膜层，因为较靠近基片的膜层会固化好，然后是膜层靠外的部分。该机由于升温，所以产量较高。烘烤时间用秒计算，而不是像传统烘箱用分钟或者小时计算。

　　该机主要有机箱、加热部件和电控系统组成。机箱由箱体、罩壳和箱盖组成。加热的部件由加热板、加热元件及保温层、隔热层组成。电控系统由控温仪、继电器、热电偶、开关、指示灯、风扇、插座等组成。控温仪、电源开关、指示灯在面板上。风扇在箱体的后壁上，其它电器元件在箱体的内底板上。

　　烤胶机的操作步骤:

　　(1)接通电源，打开开关

　　(2)通过控温仪的上下箭头设置所需烘烤温度

　　(3)加热板温度到设置温度后，可以进入烘烤工作

　　(4)烘烤元件或要加热的东西放在加热板上(烘烤时间由操作者控制掌握)