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匀胶机

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匀胶机旋涂仪

匀胶机旋涂仪

  •    匀胶机旋涂仪配方带掉电保护功能,加速度可调,带防飞片保护与报警,带防进胶保护与报警,带自动取片提示功能,实时显示吸力,匀胶机具有多……
产品详细

   匀胶机旋涂仪配方带掉电保护功能,加速度可调,带防飞片保护与报警,带防进胶保护与报警,带自动取片提示功能,实时显示吸力,匀胶机具有多项特色卖点。首先,它配备了掉电保护功能,使操作更加安全可靠。其次,用户可以根据需要调整匀胶速度和加速度,确保匀胶过程的精确控制。此外,机器还具有防飞片和防进胶的保护与报警功能,提高了操作的安全性。匀胶流程简单易懂,用户只需按照步骤依次操作即可。

匀胶机旋涂仪

    匀胶机产品规格参数显示了其适用范围广泛,可以处理不同尺寸的基片,并具有精确的转速控制、高速稳定度、胶均匀性等特点。具备便捷的人机界面和触摸屏控制,还带有掉电保护功能,使其更加可靠。 ET-4BC-I 匀胶机是实验室和生产环境中的可靠选择,可广泛应用于医疗、电子、光学等领域。

  一,旋涂仪机器特色:

  1 .配方带掉电保护功能

  2.加速度可调

  3.带防飞片保护与报警

  4.带防进胶保护与报警

  5.带自动取片提示功能

国产匀胶机
国内匀胶机

  匀胶流程

  在完成机械泵、匀胶机的安装及总连接后,即可进行匀胶操作,具体步骤如下:

  1、 接通电源:依次打开匀胶机、无油泵电源开关;

  2、 配方设置:点击配方按钮,方可进行配方的相关操作,操作方法详见图 6 及说明;

  3、 其他设置:根据自身需要设定预吸片、解吸片时间及气压检测状态;预吸片时间、解吸片时间默认

  0s,气压检测开关默认为开(建议打开), 操作方法详见图 8 及说明;

  4、 放片:将要匀胶的基片放置于片托上(见图 12);

  5、 吸片:按下取片/吸片按钮,完成吸片;

匀胶片托

  6、 滴胶:

  · 静止滴胶

  若需在静止状态下进行滴胶,应在步骤 5、6 之间完成该操作。

  · 低速滴胶

  若需在低速状态下进行滴胶,应在步骤 2 设置出相应的低速段,在步骤 7、8 之间,电机低速段运行时完成该操作。

晶圆光刻胶匀胶

  7、 启动:按下启动/停止按钮,电机启动并按参数设置要求运行,如果步骤 5 未操作,此步骤将自动吸片;

  8、 取片:

  · 过程取片

  若需在匀胶过程中进行取、放片,应按下暂停/恢复按钮,电机暂停后,按下取片/吸片按钮,即可取、放片。

  · 终止取片

  a、可按下启动/停止按钮,强制结束一个匀胶流程、电机停止运行后,进行取放、片操作,取、放片操作重复步骤 4、5。

  b、可在一个匀胶流程自动结束,取片提示界面弹出后(见图 11),进行取、放片操作,取、放片操作重复步骤 4、5。

光刻胶匀胶机
光刻胶匀胶机

  产品技术参数表:

型号ET-4BC-I
基片尺寸5-120mm
速度范围50-10000RPM
转速精度1RPM
转速稳定度±0.1%
加速度范围1-10000RPM/S
胶均匀性±1%
人机界面4.3寸触摸屏
通信接口
触控笔BAMBOO电阻笔(标配)
真空泵AP-550V无油泵
设置数据无限组数据,每组10段转速(标配)
每段时间0-10000秒
存储数据无限组数据
数据保护默认带掉电保护功能
匀胶机交流供电口AC100-250V
真空泵交流供电口AC220V(标配) AC110V(选配)
匀胶机功率200W
真空泵功率350W
匀胶机体积215mm(W)X260mm(D)X160mm(H)
匀胶机重量10KG
泵重量9KG
环境温度0-40℃
相对湿度< 85%
旋转匀胶机
旋转匀胶机

  旋涂清洁和具体清洁步骤

  本文探讨了旋涂在基板清洁中的应用及其具体步骤。尽管旋涂清洁通常效果不如声波浴,并且速度较慢,但在某些情况下(如HMDS和其他表面改性处理),旋涂清洁和洗涤步骤仍然非常有效。

  此外,旋涂可用于去除某些添加剂。旋转洗涤过程中,研究人员使用中等体积的溶剂(如50 µl),并进行多次洗涤。然而,需要注意的是,未去除多余溶剂可能导致大量蒸汽,进而影响后续薄膜的干燥过程。

  旋涂也可用于清洁基板,但经验是,与基于声波浴的清洁相比,它通常产生相对较差的结果,并且与一次清洁一批基板相比速度较慢。它还经常导致在旋涂机中使用大量溶剂,如果在需要去除溶剂的环境(例如层流)中执行这些步骤,这可能是一个问题。

匀胶机锅
匀胶机锅

  然而,有时旋转清洁和洗涤步骤可能非常有用,例如 HMDS 和某些其他表面改性处理可以从旋转洗涤中受益。同时,旋涂半正交溶剂也可用于去除某些添加剂。

  旋转洗涤时,研究人员通常使用动态分配中等体积的溶剂(标准 20 x 15 mm 基材为 50 µl),并且可能洗涤数次。请注意,如果不先去除溶剂(通常是用洁净室纸巾从旋涂机内部擦去多余的溶剂),这会产生大量溶剂蒸汽,从而影响后续薄膜的干燥动力学。

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