加热匀胶机在传统匀胶机的基础上集成加热系统，主要用于需要温度控制的涂胶工艺，可加热加热范围：室温-200摄氏度，加热匀胶机通过精准温控扩展了传统匀胶机的工艺窗口，特别适用于高温、高精度涂胶需求。用户需结合材料特性与设备参数，优化温度-转速-时间组合，以实现最佳成膜效果。

　　一、匀胶机主要特点：

　　1.采用无刷伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

　　2.机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、永不生锈，便于清洗。

　　3.排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。

　　4.透明可视,耐化学腐蚀的密封盖(丙烯酸材质)，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。

　　二、匀胶机主要技术参数指标：

精度	指标
基片尺寸	5-100mm
速度范围	1-10000RPM
转速精度	1RPM
转速稳定度	±0.1%
加速度范围	1-10000RPM/S
匀胶均匀性	±1%
加热范围	室温-200℃
控制信号	指标
人机界面	4.3寸触摸屏
通信接口	可接无线鼠标键盘：机器可放于手套箱内,同时客户可在手套箱外远程操作机器
旋转方向	支持正反转
触控笔	BAMBOO电阻笔(标配)
真空泵	ET-550V无油泵/FY油泵
编程模式	参数
设置数据	无限组数据，每组10段转速(标配)
每段时间	0-10000秒
存储数据	无限组数据
电气参数	指标
匀胶机交流供电口	AC100-250V
真空泵交流供电口	AC220V(标配) AC110V(选配)
匀胶机功率	200W
真空泵功率	350W
真空泵抽速	≥60L/MIN
机械尺寸	参数
匀胶机体积	210mm(W)X220mm(D)X160mm(H)
匀胶机重量	10KG
泵重量	9KG
使用环境	参数
环境温度	0-40℃
相对湿度	< 85%
放置于桌面	可通过自带水平仪调节机器水平
技术支持	指标
质保期	1年

　　三、加热匀胶机应用范围：

　　1.高温胶液涂覆：如高温固化光刻胶、环氧树脂、聚酰亚胺(PI)等。

　　2.粘度调节：通过加热降低胶液粘度，提升流动性，确保涂覆均匀性。

　　3.预烘干预处理：在旋转涂覆过程中同步进行预烘烤，减少后续固化时间。

　　4.低温敏感材料：避免基片(如某些柔性材料)因环境温度波动导致变形。

　　四、使用操作说明

　　1. 操作流程

　　a.预热准备：

　　开启加热系统，设置目标温度(如SU-8胶需预热至95℃)。

　　等待平台温度稳定(屏幕显示“Ready”状态)。

　　b.胶液处理：

　　预热胶液至推荐温度(避免直接高温加热导致变性)。

　　高温胶液需使用耐高温点胶头(如不锈钢喷嘴)。

　　c.基片安装：

　　使用耐高温真空吸盘固定基片，确保高温下吸附牢固。

　　避免热膨胀导致基片偏移，必要时使用边缘夹持。

　　d.涂胶与加热同步：

　　选择“加热涂胶”模式，输入参数(如：2000 RPM/30s + 120℃保温)。

　　启动后，设备自动完成滴胶、匀胶及保温流程。

　　e.冷却与取片：

　　涂胶完成后，开启冷却模式(自然冷却或风冷)。

　　待温度降至安全范围(如60℃以下)后关闭真空，取出基片。

　　2. 注意事项

　　a.安全防护：

　　操作时佩戴耐高温手套，避免接触加热平台。

　　高温运行时禁止打开防护罩，需配备高温警示标识。

　　b.胶液选择：

　　确保胶液热稳定性良好，避免高温分解或挥发。

　　黏度-温度曲线需提前测试，优化滴胶量及转速。

　　3.设备维护：

　　定期清洁加热平台残留胶体(使用高温兼容溶剂)。

　　校准温度传感器，检查加热元件老化情况。

　　五、常见问题与解决

　　问题1：胶液在高温下快速固化

　　解决：缩短滴胶至启动匀胶的时间，或降低预加热温度。

　　问题2：基片受热翘曲

　　解决：改用热膨胀系数匹配的卡盘，或降低升温速率。

　　问题3：温度均匀性差

　　解决：检查加热元件分布，增加热风循环辅助。

　　加热匀胶机通过精准温控扩展了传统匀胶机的工艺窗口，特别适用于高温、高精度涂胶需求。用户需结合材料特性与设备参数，优化温度-转速-时间组合，以实现最佳成膜效果。