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匀胶烘烤机

发布时间:2024-04-23来源:烤胶机专业制造商-深圳市邦企创源科技有限公司

  台式半自动匀胶机热板复合烘胶台,功能强大,具有匀胶、清洗、显影、干燥、预烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底胶涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake坚膜)工艺等多种功能,样品最大尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片,广泛用于大学,研究所等科研实验室。

  可以在烘烤模块上执行软烘烤,曝光后烘烤和硬烘烤过程。受控的烘烤环境可确保均匀蒸发。可编程接近销可提供对抗蚀剂硬化过程和温度曲线的控制。烘烤模块可以同时处理300 mm的晶圆尺寸或4个100 mm的晶圆。

  匀胶烘烤机主要特点:

  加热板均一性好,升温快,能满足室温-400℃,控制温度能控制小数点后的细微温度差异,如 113.4 ℃ 温差 ±0.1℃,烘胶采用温控仪PID调节,具有烘胶速度快、均匀、, 并可长时间连续稳定工作.独立的烘焙模块专为软曝光或曝光后烘焙过程而设计.

半自动匀胶热板

  匀胶机参数:

  1.落地台式机,结构紧凑,所有单元集成在一台设备中,集成度高。

  2.手动装载/卸载

  3.衬底最大可达 200 mm (8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

  4.软件提供用户友好的操作

  5.直驱旋涂电机

匀胶机

  6.全轴电机驱动且完全可编程

  7.带安全中断传感器的透明盖

  8.外壳上有电源开关 ON / OFF

  9.工艺腔和可更换防溅环,易于拆卸以进行清洁。

  10.系统材料为PP材质,耐所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。

  11.包括 0.5 升废液瓶

匀胶烘烤系统

  热板烤胶机特征

  1.独立烘烤模块:晶片尺寸为300毫米,或同时晶片尺寸为四个100毫米

  2.温度均匀性≤±1°C @ 100°C,250°C烘烤温度

  3.用于手动和安全地装载/卸载晶片的装载销

  3.手动将升降杆调整到所需的接近间隙

  5.烘烤定时器 基材真空(直接接触烘烤)

热板烤胶机

  6.N2吹扫和近程烘烤0-1 mm距离晶片至加热板可选 不规则形状的基材

  7.独立烘烤模块设计用于软烘烤或曝光后烘烤过程。

  8.烘焙计时器,可以程序线性控制升温速度

  9.基板真空(直接接触烘烤)

  10.N个2清洗和近贴烘烤0-1mm距离晶圆到加热板可选

  11.不规则形状基板

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匀胶烘烤机

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