光刻匀胶机
- 光刻匀胶机全机身采用SUS304不锈钢,防酸、防碱、防盐雾。吸附力可调,带真空压力表头实时显示真空吸附状态,是一种专用于光刻胶涂布和均匀化……
产品详细
光刻匀胶机全机身采用SUS304不锈钢,防酸、防碱、防盐雾。吸附力可调,带真空压力表头实时显示真空吸附状态,是一种专用于光刻胶涂布和均匀化的匀胶设备。光刻匀胶机能够将光刻胶均匀地涂布在硅片或其他基材上,并确保胶层的厚度和均匀性,是微电子器件制造中不可或缺的工具。
自动匀胶机技术参数
1、调速范围和匀胶时间
Ⅰ档 调速范围:50-10000转/分 Ⅰ档 匀胶时间:0-999秒
Ⅱ档 调速范围:50-10000转/分 Ⅱ档 匀胶时间:0-999秒
2、适用:Φ5-Φ120mm硅片及其它材料等匀胶。
3、双LED数字显示,带倒计时显示功能,采用闭环调节方式,转速稳定度:±0.5%,胶的均匀性:±1%。
4、单按键控制电机启动,暂停,复位,单片机延时控制电磁阀启动与停止。
5、电机功率:40W,单相100-250V供电
6、真空泵抽气速率≥60升/分
7、全机身采用不锈钢材质,防酸,防碱,防盐雾
8、仪器尺寸:210×220×160mm
配方带掉电保护功能,加速度可调,带防飞片保护与报警,带防进胶保护与报警,带自动取片提示功能,实时显示吸力。
光刻匀胶机特点
1 .配方带掉电保护功能
2.加速度可调
3.带防飞片保护与报警
4.带防进胶保护与报警
5.带自动取片提示功能
匀胶机使用步骤流程
在完成机械泵、匀胶机的安装及总连接后,即可进行匀胶操作,具体步骤如下:
1、 接通电源:依次打开匀胶机、无油泵电源开关;
2、 配方设置:点击配方按钮,方可进行配方的相关操作,操作方法详见图 6 及说明;
3、 其他设置:
根据自身需要设定预吸片、解吸片时间及气压检测状态;预吸片时间、解吸片时间默认气压检测开关默认为开(建议打开), 操作方法详见图 8 及说明;
4、 放片
将要匀胶的基片放置于片托上(见图 );
5、 吸片:按下取片/吸片按钮,完成吸片;
6、 滴胶:
· 静止滴胶
若需在静止状态下进行滴胶,应在步骤 5、6 之间完成该操作。
· 低速滴胶
若需在低速状态下进行滴胶,应在步骤 2 设置出相应的低速段,在步骤 7、8 之间,电机低速段运行时完成该操作。
7、 启动:按下启动/停止按钮,电机启动并按参数设置要求运行,如果步骤 5 未操作,此步骤将自动吸片;
8、 取片:
· 过程取片
若需在匀胶过程中进行取、放片,应按下暂停/恢复按钮,电机暂停后,按下取片/吸片按钮,即可取、放片。
· 终止取片
一、可按下启动/停止按钮,强制结束一个匀胶流程、电机停止运行后,进行取放、片操作,取、放片操作重复步骤 4、5
二、可在一个匀胶流程自动结束,取片提示界面弹出后(见图 11),进行取、放片操作,取、放片操作重复步骤 4、5
匀胶机旋涂仪的工作原理和应用领域
匀胶机旋涂仪是一种用于制备薄膜的实验设备,通过将溶解的材料涂覆在旋转的基板上制备薄膜。匀胶机用于均匀涂布材料,而旋涂仪则用于控制薄膜的厚度和质量。这些设备通常用于电子学、光学和材料科学等领域的研究。
其主要工作原理是将固态胶片或者涂料均匀地涂布在一个基材表面上。该设备由旋涂部分和传送部分组成。
首先,待处理的基材被夹在旋涂机的传送带上,然后通过旋转滚筒将固态胶片或者涂料均匀地覆盖在基材表面上。旋涂机的旋转速度和涂布厚度可以通过调整控制系统来实现。同时,也可以通过加热系统来提高胶片或涂料的流动性,以便更好地涂布在基材表面。
匀胶机旋涂仪的应用领域:
1.电子行业:可用于印刷电路板、LCD显示器、OLED显示器等电子产品的生产过程中,能够精确地涂布胶片或者涂料,确保电子元件的精密制造。
2.包装行业:可以用于各种类型的包装材料上,例如纸张、塑料膜、金属箔等。它能够将胶片或涂料均匀地覆盖在基材上,使得包装材料更加美观、牢固和防水。
3.医疗行业:可以用于生产各种类型的医疗器械和药品包装材料。它能够确保制造出来的产品不会受到外界环境的影响,也能够有效地保护药品或医疗器械的质量。
4.光学行业:可以用于光学镜头、棱镜、滤光片等光学元件的制造过程中,能够实现对涂布厚度和涂布精度的高要求。
总之,匀胶机旋涂仪是一种非常重要的表面处理设备,广泛应用于电子、包装、医疗和光学等领域。它的主要工作原理是通过旋转滚筒将胶片或者涂料均匀地涂布在基材表面上,从而实现各种不同类型的产品的生产。