中科院匀胶机
- 精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的晶圆底物旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。不锈钢外壳比塑……
产品详细
精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的晶圆底物旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。不锈钢外壳比塑料或者镀漆金属更耐久和美观;工业级别200瓦伺服电机系统,采用于track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中领先的最大达到50000RPM/S的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定和极高的可重复性。

匀胶机应用范围:广泛的应用于半导体生产,MEMS生产,薄膜技术,传感器以及高级封装技术之中。
精密匀胶机技术参数:
1. 主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)
2. 旋涂程序:最多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒
3. 转动速度:0-10,000rpm(可选更高速)
4. 旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)
5. 马达旋涂转速稳定性能误差<±1%
6. 转速调节精度<1rpm,重复性<1rpm
7. 工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec
8. 支持wafer尺寸1cm-200mm
9. 旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)
10. 设备尺寸32cm W×44cm D×30cm H

精密匀胶机操作步骤
1.选择合适的片托,(略小于样片尺寸)将缺口对准螺钉。片托安装时一定要到底。
1、开启电源,按下“控制键”
2、调节合适的匀胶时间和转速。转速Ⅰ为低速,转速Ⅱ为高速。
3、放片,要注意放正。
4、按下“吸片”键开始抽气。注意在按“吸片”键之前,转速电位器上的指示灯不应亮。
1)按“启动键”,电机旋转,数字稳定后为实际转速,如: 1.50即为1500转/分。
2)滴胶,动作要快些,要在低转速时间内滴胶完毕,然后匀胶机变为高速匀胶。若不知匀胶机是低速还是高速运转,则可以从电位器上的指示灯来判断,黄色为低速,绿色为高速。

3)数字多圈电位器只用来调节转速,其读数和显示转速不对应, LED显示的读数才是实际转速。当数字无显示时电位器上的读数可供参考。
9.电机停转后,抬起“吸片”键,取下片子。
1 匀胶时间、转速若不合适可随时调节。
2 继续匀胶时重复4-8步。
3 匀胶结束后抬起“吸片”键、“控制”键,关断电源。