等离子清洗机电源属于150W 13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备 .主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。

　　ET-S2DQX型等离子清洗机电源属于150W 13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。

　　该清洗机内置高纯石英仓体，容积为2升。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空 气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别适用科学实验 样品清洗 和教学。

供电电源	AC220V（AC110V可选)
工作电流	整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
射频电源功率	150W
射频频率	13.56MHz
频率偏移量	＜0.2MHz
特性阻抗	50欧姆，手动匹配
耦合方式	电容耦合
真空度	≤100Pa
腔体材质	高纯石英
腔体容积	2L(内径110MMX深度220MM)
观察窗内径	Φ65
气体流量	10—100ml/min（其他量程可选）
过程控制	过程手动控制
清洗时间	手动开关
开盖方式	铰链侧开式法兰
外形尺寸	400x380x360mm
重量	23Kg
真空室温度	小于65°C
冷却方式	强制风冷
标配	KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。

　　等离子清洗机清洗工作原理

　　等离子清洗机中的等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

　　在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面。以达到清洗目的。

　　等离子清洗机清洗原理：

　　1.激活键能，交联作用

　　等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

　　2.对材料表面的刻蚀作用--物理作用

　　等离子清洗机中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

　　3.形成新的官能团--化学作用

　　如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。