匀胶机参数设置与使用方法步骤
发布时间:2024-06-27来源:烤胶机专业制造商-深圳市邦企创源科技有限公司
匀胶机是在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备,膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。实验室匀胶机采用了先进的设计理念,配合精密的运动控制系统,可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作,并配有控温系统,控温均匀性好,可实现边加热边匀胶功能,操作界面可存贮10组程序,每组程序可达10步。运行参数如转速、转动时间可实时显示
匀胶机的参数设置涉及多个方面,包括基片尺寸、转速、旋涂设置、转速稳定性、旋涂均匀性、旋涂工艺阶段、旋涂时间、整机尺寸、电机功率、适应材料、配套无油真空泵参数等。 12基片尺寸 :匀胶机可以处理不同尺寸的基片,包括圆片(直径范围从5mm到100mm)和方片(最大尺寸为100mm×100mm)。
转速 :匀胶机的转速范围广泛,从2500RPM到9000RPM,甚至可以达到更高的转速,如12000rpm,以满足不同的旋涂需求。
旋涂设置 :匀胶机支持在任意阶段之间进行任意升降调节,提供多达20个程序段来存储不同材料的制备过程,每个程序段都能设定51步速度改变。
转速稳定性 和旋涂均匀性 :匀胶机的转速稳定性要求高,通常在1%以内,以确保旋涂过程的均匀性和一致性。
旋涂工艺阶段 和旋涂时间 :匀胶机支持多达6段的旋涂工艺阶段,旋涂时间可根据客户需求调节,从0.1秒到3000秒不等。
整机尺寸 和电机功率 :匀胶机的整机尺寸和电机功率也是重要的参数,例如,某些型号的匀胶机尺寸为210mm×280mm×248mm,电机功率为40W。
适应材料 :匀胶机能够适应多种材料,包括硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP等。
配套无油真空泵参数 :匀胶机通常配备无油真空泵,以提供必要的真空环境,确保旋涂过程的顺利进行。
这些参数的设置和调整,旨在满足不同应用场景下的旋涂需求,确保旋涂过程的均匀性、稳定性和效率。
匀胶机使用方法:
1.特点是双转速匀胶机,两档转速及其匀胶时间分别连续调节,在启动后先低速运转,经几秒钟后自动转换到高速运转。
Ⅰ档转速: 4A型500-2000转/分; 5型500-1000转/分Ⅰ速匀胶
时间: 2-18秒Ⅱ档转速: 4A型1300-8000转/分; 5型900-5000转/分Ⅱ速匀胶时间: 3-60秒
2. LED数字显示,转速稳定度± 1%,胶的均匀性4A型± 3%、 5型± 5%。
一 体积小,重量轻,操作方便。
一 电机功率: 4A型40W; 5型180W。
一适用于4A型φ 5至φ 100mm; 5型φ 100至φ 200mm硅片及其它材料等匀胶。
匀胶机操作步骤
1.选择合适的片托,(略小于样片尺寸)将缺口对准螺钉。片托安装时一定要到底。
1、开启电源,按下“控制键”
2、调节合适的匀胶时间和转速。转速Ⅰ为低速,转速Ⅱ为高速。
3、放片,要注意放正。
4、按下“吸片”键开始抽气。注意在按“吸片”键之前,转速电位器上的指示灯不应亮。
1)按“启动键”,电机旋转,数字稳定后为实际转速,如: 1.50即为1500转/分。
2)滴胶,动作要快些,要在低转速时间内滴胶完毕,然后匀胶机变为高速匀胶。若不知匀胶机是低速还是高速运转,则可以从电位器上的指示灯来判断,黄色为低速,绿色为高速。
3)数字多圈电位器只用来调节转速,其读数和显示转速不对应, LED显示的读数才是实际转速。当数字无显示时电位器上的读数可供参考。
9.电机停转后,抬起“吸片”键,取下片子。
1 匀胶时间、转速若不合适可随时调节。
2 继续匀胶时重复4-8步。
3 匀胶结束后抬起“吸片”键、“控制”键,关断电源。
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