旋转涂膜成套设备
- 旋转涂膜成套设备包含:1前期简单清洗:超声波清洗机(用于去除基片表面污渍 )2:深层清洗:等离子清洗机(达分子级的深层清洗,用于改善基片表面的……
产品详细
旋转涂膜成套设备包含:1前期简单清洗:超声波清洗机(用于去除基片表面污渍 )2:深层清洗:等离子清洗机(达分子级的深层清洗,用于改善基片表面的亲水性和湿润性)3:涂膜:真空旋转涂膜机(适用于4英寸及以下的晶圆表面的涂膜)、4:胶体薄膜固化:烤胶机:精密烤胶机、上盖加热型真空旋转涂膜机5:薄膜厚度测定:光普椭偏仪 膜厚测量范围:0.5nm-20μmSR-C 反射膜厚仪 膜厚测量范围:100nm-40μm
![旋转涂膜成套设备](http://www.szdeyu.com.cn/wp-content/uploads/2023/01/2023011716044742.jpg)
旋转涂膜成套设备
1. 基片清洗设备:
① 前期简单清洗:超声波清洗机(用于去除基片表面污渍 )
![](http://www.szdeyu.com.cn/wp-content/uploads/2023/01/2023011715442595.jpg)
② 深层清洗:
等离子清洗机(达分子级的深层清洗,用于改善基片表面的亲水性和湿润性)、PCE-6V小型等离子清洗机(不仅可用于基片表面性质的改善还可通氧气进行光刻胶清洗)、紫外线臭氧清洗:不需要任何溶剂的干式清洗技术,对基片没有损伤(该法不适用于高分子基片)
![等离子清洗](http://www.szdeyu.com.cn/wp-content/uploads/2023/01/2023011715455154.jpg)
2. 基片清洗效果检测:
DSA-X光学接触角测量仪、全自动整体倾斜接触角分析仪(通过对清洗前后基片表面对同一种液体的接触角的数值的检测,来判断清洗效果是否达到要求)
![光学接触角测量仪](http://www.szdeyu.com.cn/wp-content/uploads/2023/01/2023011715461440.jpg)
3. 涂膜:真空旋转涂膜机(适用于4英寸及以下的晶圆表面的涂膜)、真空旋转涂膜机(适用于6英寸及以下的晶圆表面的涂膜)
![真空旋转涂膜机](http://www.szdeyu.com.cn/wp-content/uploads/2023/01/2023011715463993.jpg)
4. 胶体薄膜固化:烤胶机:精密烤胶机、上盖加热型真空旋转涂膜机,无需移动样片直接进行烤胶。紫外加热型旋转涂膜机用于光敏型胶体薄膜的固化。
![精密烤胶机](http://www.szdeyu.com.cn/wp-content/uploads/2023/01/2023011715465944.jpg)
精密烤胶机
![真空旋转涂膜机](http://www.szdeyu.com.cn/wp-content/uploads/2023/01/2023011715501242.jpg)
真空旋转涂膜机
5. 薄膜厚度测定:光普椭偏仪 膜厚测量范围:0.5nm-20μmSR-C 反射膜厚仪 膜厚测量范围:100nm-40μm
![反射膜厚仪](http://www.szdeyu.com.cn/wp-content/uploads/2023/01/20230117155057100.jpg)
反射膜厚仪