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旋转涂膜成套设备

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  •  旋转涂膜成套设备包含:1前期简单清洗:超声波清洗机(用于去除基片表面污渍 )2:深层清洗:等离子清洗机(达分子级的深层清洗,用于改善基片表面的……
产品详细

 旋转涂膜成套设备包含:1前期简单清洗:超声波清洗机(用于去除基片表面污渍 )2:深层清洗:等离子清洗机(达分子级的深层清洗,用于改善基片表面的亲水性和湿润性)3:涂膜:真空旋转涂膜机(适用于4英寸及以下的晶圆表面的涂膜)、4:胶体薄膜固化:烤胶机:精密烤胶机、上盖加热型真空旋转涂膜机5:薄膜厚度测定:光普椭偏仪 膜厚测量范围:0.5nm-20μmSR-C 反射膜厚仪 膜厚测量范围:100nm-40μm

旋转涂膜成套设备

 旋转涂膜成套设备

 1. 基片清洗设备:

  ① 前期简单清洗:超声波清洗机(用于去除基片表面污渍 )

超声波清洗

  ② 深层清洗:

  等离子清洗机(达分子级的深层清洗,用于改善基片表面的亲水性和湿润性)、PCE-6V小型等离子清洗机(不仅可用于基片表面性质的改善还可通氧气进行光刻胶清洗)、紫外线臭氧清洗:不需要任何溶剂的干式清洗技术,对基片没有损伤(该法不适用于高分子基片)

等离子清洗
等离子清洗

  

  2. 基片清洗效果检测:

  DSA-X光学接触角测量仪、全自动整体倾斜接触角分析仪(通过对清洗前后基片表面对同一种液体的接触角的数值的检测,来判断清洗效果是否达到要求)

光学接触角测量仪
光学接触角测量仪

  3. 涂膜:真空旋转涂膜机(适用于4英寸及以下的晶圆表面的涂膜)、真空旋转涂膜机(适用于6英寸及以下的晶圆表面的涂膜)

真空旋转涂膜机
真空旋转涂膜机

  4. 胶体薄膜固化:烤胶机:精密烤胶机、上盖加热型真空旋转涂膜机,无需移动样片直接进行烤胶。紫外加热型旋转涂膜机用于光敏型胶体薄膜的固化。

精密烤胶机

  精密烤胶机

真空旋转涂膜机

  真空旋转涂膜机

  5. 薄膜厚度测定:光普椭偏仪 膜厚测量范围:0.5nm-20μmSR-C 反射膜厚仪 膜厚测量范围:100nm-40μm

反射膜厚仪

反射膜厚仪

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